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掃描電子顯微鏡（SEM）利用電子束從納米尺度的樣品中獲取信息。所檢測到的主要信號類型是背散射電子（BSE）和二次電子（SE），它們在高倍率下生成樣品的灰度圖像。然而，還有許多其他的電子與樣品表面物質相互作用的產物——這些信號可以提供關于樣品的額外信息。在這篇博客中，我們將闡述掃描電鏡中的能譜（EDX）是如何工作的。

電子 —— 與樣品表面的相互作用

入射電子與樣品表面的物質相互作用產生了各種各樣的信號，這些信號攜帶了關于樣品的不同信息 （圖1）。例如，背散射電子產生的圖像與原子序數(shù)的差異有關; 二次電子給出了形貌細節(jié)信息，陰極發(fā)光可以提供關于電子結構和材料化學成分的信息; 透射電子可以描述樣品的內部結構和晶體學。在掃描電鏡中廣泛使用的另一種信號是X射線。

圖1：電子物質相互作用中產生不同信號的例證。